比利时的imec报告了新的ASML芯片印刷机的突破

　　路透阿姆斯特丹8月12日电- - -全球顶级半导体研发公司之一比利时imec周三公布，其与荷兰ASML合作的联合实验室在电脑芯片制造方面取得了若干突破，使用的是ASML最新的3.5亿欧元(3.82亿美元)芯片印刷机。

　　imec表示，在阿斯麦的新“高NA”工具下，该公司已成功地单次印刷出与目前商业生产中最好的逻辑和存储芯片一样小或更小的电路。

　　这一进展表明，领先的芯片制造商将能够按照计划在未来几年内使用该工具制造几代更小、更快的芯片。

　　imec首席执行官Luc Van den Hove在一份声明中表示，高NA将“对逻辑和存储技术的持续扩展起到重要作用”。

　　Imec指出，芯片制造过程中需要的许多其他化学品和工具已经用于测试，并且似乎正在用于商业生产。

　　阿斯麦是电脑芯片制造商最大的设备供应商，这要归功于它在光刻系统(一种利用光束帮助制造电路的大型机器)方面的主导地位。

　　High NA工具能够以更少的步骤打印更小的特征，这应该为芯片制造商节省资金，并有助于证明该工具高昂的价格标签是合理的。

　　路透社周一报道称，英特尔将购买首批两款High NA芯片，第三款预计将于今年晚些时候交付给为英伟达和苹果生产芯片的台积电。

　　英特尔光刻主管Mark Philips在一封电子邮件中对路透表示:“第二种工具需要用于支持开发线所需的晶圆量和实验。”

　　订购High NA工具的其他芯片制造商包括三星电子，以及存储器专业公司SK海力士和美光。

　　(1美元=0.9163欧元)

　　(托比·斯特林报道;编辑:大卫·霍姆斯)

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